下載方案

CMP漿料的粘度和密度在拋光操作中的重要性

    漿料的粘度和密度用于評估顆粒在CMP漿料中的分散，因為顆粒大小和粘度存在關聯。漿料的粘度取決于化學和機械成分。漿料應具有窄且均勻的粒度分布和均勻的密度。密度變化表明漿料不均勻，這會影響拋光效果。團聚和大顆粒可以通過攪拌機中的過濾器去除，但密度變化難以發現。比如，漿料顆粒符合規格并通過過濾器，經濃縮后運輸，然后在晶圓廠用水或過氧化氫稀釋。由于混合不充分，漿料桶底部的密度可能更高，這會導致缺陷。CMP的進料質量取決于工廠操作以及現場混合和存儲，在線監測漿料密度可確保均勻的混合物輸送到拋光墊。

LISICO用于半導體 CMP 漿料質量控制的解決方案

    在線粘度/密度測量和控制，對于在制造過程中控制粘度/密度并確保關鍵特性*符合多批次的要求至關重要，而不必依賴離線測量方法和取樣技術。LISICO為過程控制和優化提供以下解決方案。

在線粘度和密度計

1. 在線粘度測量： LISICO SRV在線粘度計能夠實時檢測任何工藝流程中的粘度變化。

2. 在線粘度/密度測量： LISICO SRD在線粘度/密度計是一種可同時測量密度和粘度的在線儀器，它具有類似于SRV的操作能力以及精確的密度測量。

……